Микросхема
Основным исполнителем проекта выступил НИИМЭ, который обеспечил строительство чистых производственных помещений, монтаж и подключение опытных образцов оборудования, разработку технологических процессов и их испытания. НИИТМ, в свою очередь, стал основным соисполнителем, разработав само оборудование и приняв участие в проведении испытаний.
Установки для уровня 65 нм на пластинах 300 мм обеспечат в том числе перспективную потребность отечественной микроэлектроники, отметил замминистра промышленности и торговли РФ Василий Шпак. По его словам, особую ценность представляет модульность платформы, поскольку она позволяет отрабатывать процессы на существующем оборудовании и служит основой для перехода к более тонким техпроцессам.
В "Элементе" пояснили, что оборудование позволяет применять установки как на действующих, так и на планируемых производствах, где используются технологические нормы, реализованные на пластинах 200 мм. Генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов и гендиректор НИИТМ Михаил Бирюков отметили, что создание российских кластерных систем для ПХО и ПХТ станет ключевым этапом на пути к технологической самостоятельности отечественной микроэлектроники.
25 ноября Шпак говорил, что программа по развитию электронного машиностроения в России испытывает недофинансирование на сумму 33,1 млрд рублей. С 2024 года финансирование программы сократилось на десятки миллиардов. В связи с этим к концу 2025 года программа рискует отстать в реализации десятков проектов, добавил он.
Шпак рассказал, что в 2024 году на развитие программы планировали выделить 43,3 млрд рублей, но фактически выделили лишь 23,7 млрд рублей. В 2025 году при плане в 40 млрд рублей реальные расходы составили 15,7 млрд. На 2026 год запланировано 30 млрд рублей, на 2027-й и 2028-й – по 25 млрд. По данным замминистра, к концу 2025 года отставание в реализации НИОКР достигнет более 60 проектов.
